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Microcalefactores integrados realizados con tecnología de película gruesa, Calefactores integrados de platino para microsensores
por:
Fraigi, L.; Milano, O.; Roberti, F. M.
Materias: Sensores de gases; Semiconductores; Películas gruesas; Películas delgadas; Microsensores; Calefactores; Platino; Calefacción; Temperatura; Resistencia térmica
INTI; 2000
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