 |  | Estudio y puesta a punto de la técnica de medición de espesores de capas epitaxiales por el método de interferometría infrarroja
por:Berset, Alberto; Grünhut, Enrique
Materias: Mediciones; Interferometría; Espectros infrarrojos; Películas; Semiconductores; Espectrómetros; Longitud de ondas; Intrumentos de medición; Métodos de cálculo; Errores; Ruido; Factor de reflexión; Nitrógeno; Silicio; Interferencia; Resistencia eléctrica; Conductividad eléctrica
INTI. Sector Materiales, Componentes y Sistemas Electrónicos; 1979
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